Polovodič

Řešení polovodičů BSLtech

Rozvoj vašich odborných znalostí v polovodičovém průmyslu často vyžaduje čisté prostory nebo laminární boxy s vysokou třídou ISO (ISO 5 nebo vyšší). Zabýváte se procesy citlivými na UV záření? I v tomto případě dodává BSL ty správné čisté prostory. Čisté prostory mají vysoce kvalitní povrchovou úpravu stěn a jsou vybaveny osvětlením s UV filtrem. Použitím antistatických (ESD) materiálů a antistatických lamel na filtračním systému se statický náboj ve vzduchu neutralizuje.

Pokud není odplyňování žádoucí, BSL nabízí čisté prostory z materiálů neuvolňujících plyny (PU). Tato technologie má původ v leteckém průmyslu.

Typické procesy v polovodičovém průmyslu:

● Ochrana substrátů a křemíkových destiček
● Výzkum EUV
● Zarovnávače masek
● Vakuové nanášení, nanášení tenkých vrstev
● Tiskové aplikace
● Optika

Front-end a back-end procesy